Pattern dependent distortion and temperature variation in EUV mask - 科研通

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标题	Pattern dependent distortion and temperature variation in EUV mask EUV掩模中的图案相关失真和温度变化相关领域极紫外光刻极端紫外线材料科学失真（音乐）吸收（声学）光学热变形温度变形（气象学）平版印刷术临界尺寸图层（电子）热的光电子学复合材料物理放大器气象学极限抗拉强度艾氏冲击强度试验激光器 CMOS芯片
网址	https://doi.org/10.1117/12.2536721
DOI	10.1117/12.2536721 doi
其它	期刊：作者：Chung-Hyun Ban; Eun‐Sang Park; Ui-Jeong Ha; Chae-Yun Lim; Hye-Keun Oh 出版日期：2019-09-26
求助人	QRE 在 2025-04-22 20:36:20 发布自北京，悬赏 20 积分
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