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 Abstract: Characterization of InN, In2O3, and In oxy-nitride semiconducting thin films using XPS electron energy loss spectra 摘要：用XPS电子能量损失谱表征InN、In2O3和In氧氮化物半导体薄膜
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期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：Tery L. Barr; Bharath Natarajan; A. H. Eltoukhy; J. E. Greene 出版日期：1979-03-01 |
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