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Chemical Mechanical Polishing of MgO Substrate and Its Effect on Fabrication of Atomic Step-Terrace Structures on MgO Surface by Subsequent High-Temperature Annealing
镁基片的化学机械抛光及其对高温热处理制备镁表面原子阶梯结构的影响
相关领域
材料科学
退火(玻璃)
化学机械平面化
抛光
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研磨
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化学工程
化学
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Hideo Aida; Takumi Ojima; Ryuji Oshima; Takahiro Ihara; Hidetoshi Takeda; et al 出版日期:2022-11-17 |
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