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Investigation of depositing large area uniform diamond films in multi-mode MPCVD chamber
多模MPCVD室沉积大面积均匀金刚石薄膜的研究
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期刊:Diamond and Related Materials 作者:J. Weng; L.W. Xiong; J.H. Wang; S.Y. Dai; W.D. Man; F. Liu 出版日期:2012-10-18 |
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