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A Nano Positioning Platform for STM and Its Compound Control Algorithm
STM纳米定位平台及其复合控制算法
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期刊:IEEE transactions on instrumentation and measurement 作者:Xiaoyong Fan; Yu-liang Zhi; Liang Cheng; Jie Shen; Xin Wang 出版日期:2022-01-01 |
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