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标题
Electrical Characteristics of Silicon Nitride Films Prepared by Silane‐Ammonia Reaction
硅烷-氨反应制备氮化硅薄膜的电学特性
相关领域
氮化硅 分析化学（期刊） 材料科学 硅烷 电阻率和电导率 硅 化学 光电子学 电气工程 复合材料 色谱法 工程类
网址
https://doi.org/10.1149/1.2411484
DOI
10.1149/1.2411484 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：George Brown; W. C. Robinette; Harold G. Carlson
出版日期：1968-09-01
求助人
ddg 在 2024-11-27 08:24:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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