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Fabrication of InGaN/GaN MQW nano‐LEDs by hydrogen‐environment anisotropic thermal etching
氢环境各向异性热刻蚀制备InGaN/GaN MQW纳米发光二极管
相关领域
材料科学
发光二极管
纳米柱
光电子学
蚀刻(微加工)
电致发光
氮化镓
二极管
纳米-
氮化物
干法蚀刻
制作
纳米结构
纳米技术
图层(电子)
复合材料
病理
替代医学
医学
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期刊:Physica status solidi. A, Applications and materials science 作者:Kohei Ogawa; Ryo Hachiya; Tomoya Mizutani; Shun Ishijima; Akihiko Kikuchi 出版日期:2016-11-24 |
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