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Orientation-dependent atomic-scale mechanism and defect evolution in β-Ga2O3 thin film epitaxial growth
β-Ga2O3薄膜外延生长中取向相关的原子尺度机制和缺陷演化
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期刊:Applied Physics Letters 作者:J.X. Zhang; Junlei Zhao; Junting Chen; Mengyuan Hua 出版日期:2024-01-08 |
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