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 Impact of operation voltage and NH3 annealing on the fatigue characteristics of ferroelectric AlScN thin films grown by sputtering 工作电压和NH3退火对溅射AlScN铁电薄膜疲劳特性的影响
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期刊：Nanoscale 作者：Kyung Do Kim; Yong Bin Lee; Suk Hyun Lee; In Su Lee; Seung Kyu Ryoo; et al 出版日期：2023-01-01 |
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