Electrostatic Self-Assembled Composite Abrasives for Chemical Mechanical Polishing of A-Plane Sapphire

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标题	Electrostatic Self-Assembled Composite Abrasives for Chemical Mechanical Polishing of A-Plane Sapphire A面蓝宝石化学机械抛光用静电自组装复合磨料相关领域蓝宝石材料科学化学机械平面化抛光泥浆复合材料复合数纳米压痕 X射线光电子能谱纳米复合材料化学工程光学物理工程类激光器
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac39a6
DOI	10.1149/2162-8777/ac39a6 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Haiyang Yu; Xiaoxue Tang; Xue Kong; Xing’ai Li; Yanpei Li; et al 出版日期：2021-11-15
求助人	圆圆在 2024-11-12 22:26:55 发布自湖北，悬赏 10 积分
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