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 Design and Test of a High-Sensitivity MEMS Capacitive Resonator for Photoacoustic Gas Detection 一种用于光声气体检测的高灵敏度MEMS电容谐振器的设计与测试
相关领域
电容感应
微电子机械系统
谐振器
生物医学中的光声成像
灵敏度（控制系统）
材料科学
光电子学
光声光谱学
电子工程
声学
光学
电气工程
工程类
物理
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Yonggang Yin; Danyang Ren; Yuqi Wang; D. Gao; Junhui Shi 出版日期：2024-01-01 |
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