Localized heating effects and scaling of sub-0.18 micron CMOS devices

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标题	Localized heating effects and scaling of sub-0.18 micron CMOS devices 0.18微米以下CMOS器件的局部热效应和缩放相关领域缩放比例声子晶体管热点（计算机编程） CMOS芯片玻尔兹曼方程硅材料科学电阻式触摸屏光电子学非平衡态热力学缩放限制消散凝聚态物理物理电压电气工程计算机科学工程类几何学数学量子力学热力学操作系统
网址	http://dx.doi.org/10.1109/IEDM.2001.979598
DOI	10.1109/IEDM.2001.979598 doi
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