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标题
Improvement of grain size and deposition rate of microcrystalline silicon by use of very high frequency glow discharge
利用甚高频辉光放电改善微晶硅晶粒尺寸和沉积速率
相关领域
微晶 材料科学 粒度 硅 微晶硅 辉光放电 多晶硅 沉积（地质） 化学气相沉积 分析化学（期刊） 等离子体 等离子体增强化学气相沉积 蚀刻（微加工） 纳米晶硅 光电子学 化学 复合材料 晶体硅 结晶学 薄膜晶体管 非晶硅 环境化学 古生物学 物理 图层（电子） 量子力学 沉积物 生物
网址
https://doi.org/10.1063/1.112604
DOI
10.1063/1.112604 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：F. Finger; P. Hapke; M. Luysberg; R. Carius; H. Wagner; et al
出版日期：1994-11-14
求助人
沉静的乘风 在 2025-01-16 19:10:55 发布自山西，悬赏 10 积分
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