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Pinhole electrical conductivity in polycrystalline Si on locally etched SiN /SiO passivating contacts for Si solar cells
Si太阳电池局部刻蚀SiN/SiO钝化接触上多晶Si的针孔电导率
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:C.L. Anderson; H.L. Guthrey; W. Nemeth; C.-S. Jiang; M.R. Page; et al 出版日期:2023-06-13 |
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