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 The Effect of Physical Property Parameters of the Insulation Material Inside the Heat Shield on the Growth of Czochralski Silicon Crystal 隔热板内隔热材料物理性能参数对直拉硅单晶生长的影响
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期刊：Silicon 作者：Rongrong Hu; Xiaowei Lv; Jiacheng Li; Salamat Ali; Jing Qi 出版日期：2023-11-28 |
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