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 Heterogeneous integration of lithium tantalate thin film on quartz for high performance surface acoustic wave resonator 用于高性能声表面波谐振器的钽酸锂薄膜在石英表面的非均匀集成
相关领域
钽酸锂
材料科学
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yang Chen; Jinbo Wu; Xiaoyan Zhao; Zhongxu Li; Xinjian Ke; et al 出版日期：2022-12-23 |
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