Heated-H3PO4 etching of (001) β-Ga2O3 - 科研通

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标题	Heated-H3PO4 etching of (001) β-Ga2O3 （001）β-Ga2O3的加热-H3PO4刻蚀相关领域咬边蚀刻（微加工）材料科学干法蚀刻沟槽反应离子刻蚀光电子学复合材料纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/5.0209222
DOI	10.1063/5.0209222 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Steve Rebollo; Takeki Itoh; Sriram Krishnamoorthy; James S. Speck 出版日期：2024-07-01
求助人	迷失的悠悠在 2024-08-29 07:44:32 发布自天津，悬赏 10 积分
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