Deposition durability of e-beam mask repair

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标题	Deposition durability of e-beam mask repair 电子束掩模修复的沉积耐久性相关领域耐久性沉积（地质）降级（电信）梁（结构）材料科学计算机科学法律工程学复合材料结构工程工程类电信地质学沉积物古生物学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2323905
DOI	10.1117/12.2323905 doi
其它	期刊：作者：Thorsten Krome; Christian Holfeld; Tim Göhler; Pavel Nesládek 出版日期：2018-09-19
求助人	robert 在 2024-09-13 10:55:32 发布自江苏，悬赏 20 积分
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