Blazed gratings with both controllable blaze angle and anti-blaze angle fabricated by using a twice oblique ion beam etching method

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标题	Blazed gratings with both controllable blaze angle and anti-blaze angle fabricated by using a twice oblique ion beam etching method 双斜离子束刻蚀方法制备闪耀角和反闪耀角可控的闪耀光栅相关领域光学栅栏蚀刻（微加工）材料科学闪耀光栅衍射光栅梁（结构）光刻胶光电子学物理纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/ao.474098
DOI	10.1364/ao.474098 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Di Zhang; Xinyu Mao; Lijiang Zeng 出版日期：2022-11-16
求助人	舒适的曼彤在 2024-09-14 14:13:32 发布自福建，悬赏 10 积分
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