Update on the performance of photomask repair and clean with DUV femtosecond laser processes - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	Update on the performance of photomask repair and clean with DUV femtosecond laser processes DUV飞秒激光工艺光掩模修复和清洗性能的最新进展相关领域光掩模激光器计算机科学飞秒节点（物理）过程（计算）材料科学光学工程类纳米技术抵抗物理结构工程操作系统图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2325009
DOI	10.1117/12.2325009 doi
其它	期刊：作者：Tod Robinson; Jeff LeClaire 出版日期：2018-06-12
求助人	湘风雨在 2024-07-23 15:53:42 发布自广东，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Ava上传了应助文件

1秒前; 烟花上传了应助文件

1秒前; 米玛吗完成签到，获得积分10

2秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

4秒前; 朱朱朱完成签到，获得积分10

6秒前; N_完成签到，获得积分10

6秒前; 脑洞疼上传了应助文件

7秒前; Noldor上传了应助文件

7秒前; maodou发布了新的文献求助10

7秒前; 三三得九发布了新的文献求助10

8秒前; 迷路的煎蛋发布了新的文献求助10

8秒前; 清脆的蜗牛发布了新的文献求助10

8秒前; FashionBoy上传了应助文件

9秒前; 虚心的半梅发布了新的文献求助10

10秒前; 向沛山完成签到，获得积分10

12秒前; 阳光青烟完成签到，获得积分10

12秒前; 脑洞疼上传了应助文件

13秒前; elooo发布了新的文献求助10

13秒前; 负责人生完成签到，获得积分20

13秒前; 2248388622发布了新的文献求助10

13秒前; maodou完成签到，获得积分20

14秒前; 杨杨关闭了杨杨的文献求助

14秒前; 忐忑的蛋糕完成签到，获得积分10

15秒前; 南宫瑾怡发布了新的文献求助10

15秒前; 缓慢的初兰发布了新的文献求助10

15秒前; 鲜于飞薇发布了新的文献求助10

16秒前; 大模型的应助被yeyuchenfeng采纳，获得10

16秒前; 打打上传了应助文件

17秒前; 思源上传了应助文件

18秒前; 可爱的函函上传了应助文件

18秒前; NexusExplorer上传了应助文件

18秒前; 叶落风行完成签到，获得积分20

20秒前; ALIVE_STAR完成签到，获得积分10

20秒前; 阿元的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 在水一方的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 希望天下0贩的0的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 科研通管家关闭了xusy的文献求助

22秒前; luanzhaohui发布了新的文献求助50

22秒前

高分求助中: Evolution 10000; Sustainability in Tides Chemistry 2800; The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000; юрские динозавры восточного забайкалья 800; English Wealden Fossils 700; Diagnostic immunohistochemistry : theranostic and genomic applications 6th Edition 500; Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 3148410; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2799502; 关于积分的说明 7835226; 捐赠科研通 2456813; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1307424; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 628189; 版权声明 601655

今日热心研友

科研文献搬运工

宜醉宜游宜睡

大卫在分享

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通