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 Etch Challenges for 3D NAND Flash Technology 3D AND Flash技术的蚀刻挑战
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期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Anisul Haque Khan; Sunil Srinivasan; Jinhan Choi; Amulya Athayde; Raman Achutharaman 出版日期：2014-08-05 |
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