标题 |
Reduction of sidewall roughness in silicon-on-insulator rib waveguides
绝缘体上硅肋波导中侧壁粗糙度的减小
相关领域
材料科学
散射
表面光洁度
绝缘体上的硅
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期刊:Applied Surface Science 作者:Fan Gao; Yaohui Wang; Gang Cao; Xiaofeng Jia; Fang Zhang 出版日期:2005-09-16 |
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