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All solid-state 193nm source with 5mJ pulse energy
全固态193nm光源,脉冲能量为5mJ
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Sheng Wu; Yunying Wu; Peizhen Fu; Chuangtian Chen 出版日期:2006-05-05 |
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