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 Research on the special chiller for semiconductor industry based on fuzzy PID control 基于模糊PID控制的半导体专用冷水机组研究
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期刊：2021 IEEE Asia-Pacific Conference on Image Processing, Electronics and Computers (IPEC) 作者：Meng He; Shouzhen Rui; Mengjie He; Nijing Pi; Xiaokang Cao; et al 出版日期：2021-04-14 |
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