Debris-free high-brightness light source based on LPP for actinic EUV microscopy and metrology applications

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标题	Debris-free high-brightness light source based on LPP for actinic EUV microscopy and metrology applications 用于光化EUV显微镜和计量应用的基于LPP的无碎片高亮度光源相关领域极紫外光刻计量学光学亮度极端紫外线扫描仪激光器计算机科学光源升级材料科学环境科学物理操作系统
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2501812
DOI	10.1117/12.2501812 doi
求助人	ALIVE_STAR 在 2024-07-24 18:34:24 发布自吉林，悬赏 20 积分
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