EUV attenuated phase shift mask: development and characterization of mask properties

已关闭

文献求助详情

标题	EUV attenuated phase shift mask: development and characterization of mask properties EUV衰减相移掩模：掩模特性的研究与表征相关领域极紫外光刻空白平版印刷术材料科学光学相（物质）蓝移光电子学物理量子力学复合材料光致发光
网址	https://doi.org/10.1117/12.2606239
DOI	10.1117/12.2606239 doi
其它	期刊：作者：Ikuya Fukasawa; Yohei Ikebe; T. Aizawa; Tsutomu Shoki; T. Onoue 出版日期：2021-09-30
求助人	小张真的困啦在 2024-05-24 15:54:15 发布自吉林，悬赏 20 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

求助 / 应助时间线

7个月前，求助关闭

cctv18 Lv12 关闭了本次求助。

说明求助违规（查看求助规则）：该文献不存在全文(会议摘要、视频、poster、research highlight、news等)【积分已退回】
7个月前

chf102 Lv4 撤回了 chf102 上传的文件。

说明上传错了
7个月前

chf102 Lv4 上传了文件

已撤回 9497-9510.pdf (4.28 MB)
7个月前

小张真的困啦求助人 Lv3 发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 无花果的应助被YEM采纳，获得10

1秒前; 我陈雯雯实名上网完成签到，获得积分10

1秒前; Nancy给Nancy的求助进行了留言

3秒前; Orange的应助被无边落木采纳，获得10

3秒前; 开放的白玉完成签到，获得积分10

6秒前; 俭朴流沙完成签到，获得积分10

8秒前; Zhaobin发布了新的文献求助30

12秒前; 霸霸斌完成签到，获得积分10

13秒前; 晓伟完成签到，获得积分10

14秒前; 负责冰海完成签到，获得积分10

14秒前; Orange上传了应助文件

16秒前; YEM完成签到，获得积分10

16秒前; 脑洞疼上传了应助文件

17秒前; rosalieshi的应助被温暖冰珍采纳，获得30

18秒前; 千寒完成签到，获得积分10

19秒前; 诸天蓉完成签到，获得积分10

21秒前; HUSHIYI发布了新的文献求助10

21秒前; 无边落木发布了新的文献求助10

23秒前; 薛定谔的猫完成签到，获得积分10

24秒前; 吃甜杏子发布了新的文献求助10

24秒前; 阿泽完成签到，获得积分10

25秒前; 现代CC发布了新的文献求助10

26秒前; 科目三的应助被小卡拉米采纳，获得10

26秒前; 五月初夏完成签到，获得积分10

26秒前; 白墨完成签到，获得积分10

26秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

29秒前; YING完成签到，获得积分20

31秒前; 优雅莞完成签到，获得积分10

33秒前; Betty发布了新的文献求助30

35秒前; 研团子完成签到，获得积分10

35秒前; 无边落木完成签到，获得积分10

35秒前; Nancy驳回了大模型的应助

37秒前; Fox完成签到，获得积分0

39秒前; 大个上传了应助文件

45秒前; Akim上传了应助文件

46秒前; 小章子冰箱完成签到，获得积分10

46秒前; 赘婿的应助被Cbbaby采纳，获得10

47秒前; 打打的应助被山椒采纳，获得10

47秒前; 骑着蜗牛追导弹完成签到，获得积分10

47秒前; 小蘑菇的应助被脆脆面采纳，获得10

48秒前