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 A numerical approach on the selection of the purge flow rate in an atomic layer deposition (ALD) process 原子层沉积（ALD）过程中吹扫流量选择的数值方法
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期刊：Physics of Fluids 作者：Emeka Charles Nwanna; Rigardt Alfred Maarten Coetzee; Tien‐Chien Jen 出版日期：2022-05-01 |
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