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标题
Atomic Layer Deposition of Al-Doped ZnO Contacts for ZnO Thin-Film Transistors
用于ZnO薄膜晶体管的掺铝ZnO触点的原子层沉积
相关领域
原子层沉积 材料科学 兴奋剂 光电子学 图层(电子) 宽禁带半导体 沉积(地质) 薄膜晶体管 薄膜 晶体管 锌化合物 纳米技术 电气工程 冶金 电压 古生物学 工程类 沉积物 生物
网址
DOI
10.1109/led.2024.3382408 doi
其它 期刊:IEEE electron device letters
作者:Ben Daniel Rowlinson; Jie Zeng; J.D. Akrofi; Christian Patzig; Martin Ebert; et al
出版日期:2024-01-01
求助人
neiz 在 2024-04-08 19:43:33 发布自福建,悬赏 10 积分
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