Theoretical study on tin oxide surface chemistry mechanism and thermodynamic properties for atomic layer deposition equipment optimization

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标题	Theoretical study on tin oxide surface chemistry mechanism and thermodynamic properties for atomic layer deposition equipment optimization 原子层沉积设备优化中氧化锡表面化学机理及热力学性质的理论研究相关领域锡反应机理反应速率常数原子层沉积物理化学反应速率反应动力学过渡态理论材料科学化学反应活化能势能面热力学化学图层（电子）分子纳米技术有机化学动力学催化作用冶金物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1007/s10853-023-09007-z
DOI	10.1007/s10853-023-09007-z doi
其它	期刊：Journal of Materials Science 作者：Pengkai Wang; Yongshuan Wu; Tianxiang Wu; Jinqing Xiao; Wenyuan Xu; et al 出版日期：2023-10-01
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