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Low-temperature atomic layer etching of platinum via sequential wet-like reactions of plasma oxidation and complexation
等离子体氧化和络合顺序湿式反应低温原子层刻蚀铂
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.162325
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162325 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Thi‐Thuy‐Nga Nguyen; Daijiro Akagi; Takeshi Okato; Kenji Ishikawa; Masaru Hori
出版日期：2025-01-01
求助人
跳跃尔琴 在 2025-03-10 10:07:25 发布自上海，悬赏 10 积分
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