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Technical Challenges and Progress in Fluidized Bed Chemical Vapor Deposition of Polysilicon
流化床化学气相沉积多晶硅的技术挑战与进展
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网址
https://doi.org/10.1016/s1004-9541(11)60052-9
DOI
10.1016/s1004-9541(11)60052-9 doi
其它 期刊：Chinese Journal of Chemical Engineering
作者：Jianlong Li; Guanghui Chen; Pan Zhang; Weiwen Wang; Jihai Duan
出版日期：2011-10-01
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小巫见大巫 在 2025-04-24 14:50:03 发布自广西，悬赏 10 积分
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