Defect regulation of AlN films based on Al-rich AlN targets

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标题	Defect regulation of AlN films based on Al-rich AlN targets 基于富Al AlN靶的AlN薄膜缺陷调控相关领域材料科学 X射线光电子能谱光致发光溅射光电子学透射电子显微镜分析化学（期刊）肖特基二极管溅射沉积氮化物肖特基势垒电极薄膜图层（电子）纳米技术化学工程二极管化学工程类物理化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/ac889a
DOI	10.1088/1361-6641/ac889a doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Dandan Wen; Yue Shen; PeiYang Sun; Jian Huang; Feng Gu; et al 出版日期：2022-08-19
求助人	皮雁子在 2024-12-24 16:26:12 发布自陕西，悬赏 10 积分
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