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标题
Scanning electron microscope imaging by selective e-beaming using photoelectron beams from semiconductor photocathodes
使用来自半导体光电阴极的光电子束通过选择性电子束进行扫描电子显微镜成像
相关领域
光电阴极 扫描电子显微镜 光学 材料科学 半导体 电子枪 阴极射线 场电子发射 电子 电子束诱导沉积 光电子学 扫描透射电子显微镜 物理 量子力学
网址
DOI
10.1116/6.0002111 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者:Tomohiro Nishitani; Yuta Arakawa; Shotaro Noda; Atsushi Koizumi; Daiki Sato; et al
出版日期:2022-11-11
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