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 Piezoelectric MEMS—evolution from sensing technology to diversified applications in the 5G/Internet of Things (IoT) era 压电MEMS——5G/物联网（IoT）时代从传感技术到多元化应用的演进
相关领域
微电子机械系统
执行机构
压电
能量收集
谐振器
无线
电气工程
功率（物理）
电子工程
工程类
计算机科学
材料科学
电信
纳米技术
量子力学
物理
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xianhao Le; Qiongfeng Shi; Philippe Vachon; Eldwin J. Ng; Chengkuo Lee 出版日期：2021-11-17 |
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