Trench filling with phosphorus-doped monocrystalline and polycrystalline silicon

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标题	Trench filling with phosphorus-doped monocrystalline and polycrystalline silicon 磷掺杂单晶硅和多晶硅的沟槽填充相关领域单晶硅材料科学托尔外延薄脆饼沟槽兴奋剂掺杂剂微晶多晶硅化学气相沉积硅冶金纳米技术分析化学（期刊）光电子学化学物理图层（电子）热力学薄膜晶体管色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106549
DOI	10.1016/j.mssp.2022.106549 doi
求助人	feng 在 2024-11-26 20:27:36 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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