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标题
Contribution of mask roughness in stochasticity of high-NA EUV imaging
掩模粗糙度对高钠极紫外成像随机性的贡献
相关领域
极紫外光刻 表面光洁度 光学 平版印刷术 涟漪 薄脆饼 平面的 材料科学 GSM演进的增强数据速率 直线（几何图形） 堆栈（抽象数据类型） 表面粗糙度 光电子学 计算机科学 物理 电信 几何学 计算机图形学（图像） 复合材料 量子力学 电压 程序设计语言 数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2601897
DOI
10.1117/12.2601897 doi
其它 期刊：
作者：R. Jonckheere; Lawrence S. Melvin
出版日期：2021-09-30
求助人
小张真的困啦 在 2024-10-10 15:12:06 发布自中国，悬赏 20 积分
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