Thermodynamic analysis of copper CVD using CuCl as precursor

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标题	Thermodynamic analysis of copper CVD using CuCl as precursor CuCl为前驱体CVD铜的热力学分析相关领域铜化学材料科学化学工程有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/0167-9317(92)90499-h
DOI	10.1016/0167-9317(92)90499-h doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：R. Madar; C. Bérnard; J. Palleau; J. Torrès 出版日期：1992-09-01
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