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标题
Conversion of Silanes Into SiC by RF Plasma Technology
射频等离子体技术将硅烷转化为SiC
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网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.itsc1999p0853
DOI
10.31399/asm.cp.itsc1999p0853 doi
其它 期刊：Thermal spray
作者：E. Bouyer; M. Müller; Günter Schiller; R. Henne
出版日期：1999-03-17
求助人
ccty 在 2024-11-25 16:26:28 发布自北京，悬赏 10 积分
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