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Improvement of electrical and optical properties of molybdenum oxide thin films by ultralow pressure sputtering method
超低压溅射法改善氧化钼薄膜的电学和光学性能
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Myeong Sook Oh; Bong Seob Yang; Jong‐Ho Lee; Seong Ha Oh; Ung Soo Lee; et al 出版日期:2012-03-07 |
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