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 A comprehensive study on the electron cyclotron resonance effect in a weakly magnetized capacitively coupled RF plasma: experiment, simulation and modeling 弱磁化电容耦合射频等离子体中电子回旋共振效应的综合研究：实验、模拟和建模
相关领域
电子回旋共振
原子物理学
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电子
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电离
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物理
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核物理学
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Jiarui Liu; Yong-Xin Liu; You‐Nian Wang 出版日期：2023-04-01 |
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