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标题
Surface micromorphology and nanostructures evolution in hybrid laser processes of slicing and polishing single crystal 4H-SiC
复合激光切割抛光4H-SiC单晶过程中的表面微形貌和纳米结构演变
相关领域
材料科学 抛光 切片 表面粗糙度 机械加工 激光器 复合材料 残余应力 表面光洁度 表面完整性 研磨 化学机械平面化 表层 图层（电子） 光学 冶金 机械工程 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmst.2023.09.046
DOI
10.1016/j.jmst.2023.09.046 doi
其它 期刊：Journal of Materials Science & Technology
作者：Yuhang Li; Zhe Zhang; Qi Song; Haiyan Shi; Yu Hou; et al
出版日期：2023-11-23
求助人
Ryan 在 2025-02-25 19:13:02 发布自浙江，悬赏 10 积分
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