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标题
Polycrystalline silicon thin films processed with silicon ion implantation and subsequent solid-phase crystallization: Theory, experiments, and thin-film transistor applications
硅离子注入和随后的固相结晶处理多晶硅薄膜：理论、实验和薄膜晶体管应用
相关领域
材料科学 多晶硅 薄膜晶体管 硅 薄膜 离子注入 光电子学 纳米晶硅 微晶 结晶 晶体硅 纳米技术 非晶硅 冶金 离子 图层（电子） 化学工程 化学 工程类 有机化学
网址
https://doi.org/10.1063/1.356131
DOI
10.1063/1.356131 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Noriyoshi Yamauchi; R. Reif
出版日期：1994-04-01
求助人
奋斗梦旋 在 2025-01-06 14:54:21 发布自中国，悬赏 10 积分
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