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标题
The Effects of Poly Corner Etch Residue on Advanced Finfet Device Performance
多边形角蚀残留物对先进Finfet器件性能的影响
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材料科学 制作 残留物（化学） 光电子学 下降（电信） 逻辑门 外延 电子工程 工程物理 复合材料 电气工程 化学 工程类 医学 病理 生物化学 替代医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1109/cstic52283.2021.9461583
DOI
10.1109/cstic52283.2021.9461583 doi
其它 期刊：
作者：Qingpeng Wang; Yu De Chen; Cheng Li; Rui Bao; Jacky Huang; et al
出版日期：2021-03-14
求助人
waye131 在 2025-01-15 15:17:41 发布自上海，悬赏 10 积分
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