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标题
Surface activated bonding of ALD Al2O3 films
ALD Al2O3薄膜的表面活化键合
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb656
DOI
10.35848/1347-4065/acb656 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Junsha Wang; Ryo Takigawa; Tadatomo Suga
出版日期：2023-01-26
求助人
Kong 在 2024-10-31 15:36:55 发布自江西，悬赏 10 积分
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  • 3个月前，求助关闭

    Kong Kong 求助人 Lv4 关闭了本次求助。

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  • 3个月前

    Kong Kong 求助人 Lv4 发起了本次求助

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