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标题
Fabrication of capacitive absolute pressure sensors by thin film vacuum encapsulation on SOI substrates
薄膜真空封装在SOI衬底上制作电容式绝对压力传感器
相关领域
电容感应 绝缘体上的硅 制作 材料科学 光电子学 纳米技术 薄膜 压力传感器 电气工程 工程类 硅 机械工程 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/26/9/095018
DOI
10.1088/0960-1317/26/9/095018 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Luca Belsito; F. Mancarella; Alberto Roncaglia
出版日期：2016-08-04
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翻斗花园胡图图 在 2024-11-21 16:32:45 发布自安徽，悬赏 10 积分
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