Influence of surface processing in a BCl 3 plasma on the formation of ohmic contacts to AlGaN/GaN structures

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标题	Influence of surface processing in a BCl 3 plasma on the formation of ohmic contacts to AlGaN/GaN structures BCl 3等离子体表面处理对AlGaN/GaN结构欧姆接触形成的影响相关领域欧姆接触材料科学等离子体光电子学曲面（拓扑）纳米技术物理图层（电子）几何学量子力学数学
网址	http://dx.doi.org/10.1134/s1063784217030033
DOI	10.1134/s1063784217030033 doi
求助人	maolizi 在 2024-10-27 13:00:16 发布自江苏，悬赏 10 积分
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