20 Milliwatt class ultralow power integrated OCXO using polyimide and thin film metal connection suspended in vacuum packaging

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标题	20 Milliwatt class ultralow power integrated OCXO using polyimide and thin film metal connection suspended in vacuum packaging 采用聚酰亚胺和悬浮在真空封装中的薄膜金属连接的20毫瓦级超低功率集成OCXO 相关领域材料科学光电子学谐振器聚酰亚胺互连 CMOS芯片炸薯条电气工程电子工程工程类纳米技术电信图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/transducers.2017.7994080
DOI	10.1109/transducers.2017.7994080 doi
其它	期刊：作者：Takanori Suzuki; Masanori Muroyama; Toshio Taira; Noritoshi Kimura; Takashiro Tsukamoto; et al 出版日期：2017-06-01
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