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 TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters 硅的TMAH刻蚀及刻蚀参数的相互作用
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10.1016/s0924-4247(97)80511-0
doi
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期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：James Y.L. Thong; W. K. Choi; Cheong Wei Chong 出版日期：1997-12-01 |
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