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 Micro-Raman spectroscopy stress measurement method for porous silicon film 多孔硅薄膜的显微拉曼光谱应力测量方法
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期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Li Qiu; Wei Qiu; Haoyun Tan; Jian-Gang Guo; Yilan Kang 出版日期：2010-11-01 |
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