Improvement of Thermal and Environmental Stabilities of Short Channel Coplanar Amorphous InGaZnO Thin‐Film Transistors by Introducing Amorphous ZrAlOx Interlayer

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标题	Improvement of Thermal and Environmental Stabilities of Short Channel Coplanar Amorphous InGaZnO Thin‐Film Transistors by Introducing Amorphous ZrAlOx Interlayer 引入非晶ZrAlOx夹层改善短沟道共面非晶InGaZnO薄膜晶体管的热稳定性和环境稳定性相关领域薄膜晶体管材料科学无定形固体 X射线光电子能谱分析化学（期刊）电子迁移率溅射薄膜图层（电子）光电子学结晶学纳米技术核磁共振化学物理色谱法
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/adem.2021009...
DOI	10.1002/adem.202100957 doi
其它	期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Jiseob Lee; Suhui Lee; Md Mobaidul Islam; Jin Jang 出版日期：2021-10-30
求助人	依依在 2024-05-18 20:07:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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